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電子探針（EPMA）

電子探針（EPMA）可以對試樣中微小區(qū)域（微米級）的化學(xué)組成進(jìn)行定性或定量分析，可以進(jìn)行點、線掃描（得到層成分分布信息）、面掃描分析（得到成分面分布圖像）。還能全自動進(jìn)行批量定量分析。由于電子探針技術(shù)具有操作迅速簡便、實驗結(jié)果的解釋直截了當(dāng)、分析過程不損壞樣品、測量準(zhǔn)確度較高等優(yōu)點，在冶金、地質(zhì)、電子材料、生物、醫(yī)學(xué)、考古以及其它領(lǐng)域中得到日益廣泛地應(yīng)用，是礦物測試分析和樣品成分分析的重要工具。